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原子力顯微鏡的四大基本特性講解
點(diǎn)擊次數(shù)：1748 更新時(shí)間：2021-02-22
原子力顯微鏡雖名字中有“顯微鏡”三個(gè)字，卻是個(gè)不折不扣的“冒牌貨”，為啥呢？它并不像光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡那樣利用電磁波或者微觀粒子來(lái)“看”一個(gè)物體，而是通過(guò)一根小小的探針來(lái)間接地感知物體表面的結(jié)構(gòu)。這根探針是一個(gè)長(zhǎng)約100微米，寬約20微米的條狀物，稱其為懸臂。在懸臂的末端是一個(gè)更小的尖狀物，末端的直徑一般只有十幾個(gè)納米，我們稱它為針尖。針尖和懸臂合起來(lái)構(gòu)成了一個(gè)完整的原子力顯微鏡的探針，一般使用硅或者氮化硅作為材料。可以說(shuō)探針是原子力顯微鏡關(guān)鍵的部件。
原子力顯微鏡的四大特性說(shuō)明：
1.高分辨力
能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)掃描電子顯微鏡（SEM）以及光學(xué)粗糙度儀，樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究、生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗(yàn)越來(lái)越微觀化的要求。
2.非破壞性
探針與樣品表面相互作用力為10－8N以下，遠(yuǎn)比以往觸針式粗糙度儀壓力小，因此不會(huì)損傷樣品，也不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問(wèn)題。另外掃描電子顯微鏡要求對(duì)不導(dǎo)電的樣品進(jìn)行鍍膜處理，而原子力顯微鏡則不需要。
3.應(yīng)用范圍廣
可用于表面觀察、尺寸測(cè)定、表面粗糙測(cè)定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計(jì)處理、成膜條件評(píng)價(jià)、保護(hù)層的尺寸臺(tái)階測(cè)定、層間絕緣膜的平整度評(píng)價(jià)、VCD涂層評(píng)價(jià)、定向薄膜的摩擦處理過(guò)程的評(píng)價(jià)、缺陷分析等。
4.軟件處理功能強(qiáng)
其三維圖象顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設(shè)定。并可選用網(wǎng)絡(luò)、等高線、線條顯示。圖象處理的宏管理，斷面的形狀與粗糙度解析，形貌解析等多種功能。
